Katsura Opto 5D/6D 傾斜/變位量測/準直儀

KATSURA OPTO SYSTEMS · MULTI-AXIS METROLOGY

傾斜・變位量測・自動準直技術

鏡頭移動時,除了位置改變,是否也產生傾斜或旋轉?5D/6D 多軸感測器可在符合靶標與量測條件下,同時取得多個位置與角度資訊,協助檢查光學致動器的運動姿態

從鏡頭對焦、光學防手震與精密對準的需求出發,了解要量哪些軸,以及樣品需要怎麼配置

簡化靶標模型以位置 X、Y、Z,兩個傾角 θX、θY,以及旋轉 θ 表示六項量測。模型與比例為示意。 6D = 3 個位置 + 3 個角度 X Z Y θX θY 旋轉 θ
靶標姿態示意|5D 包含 X、Y、Z、θX、θY

5D/6D 傾斜與位移量測,適合用在哪裡?

AF/VCM · 對焦動作

移動時,有沒有歪?

鏡頭致動器沿 Z 方向移動時,同步觀察傾角,協助辨識位移是否伴隨姿態變化

只需 Z+傾角:先評估三軸;還需要 X/Y:再評估 5D

LENS-SHIFT OIS · 鏡頭防手震

補償動作是否符合預期?

觀察鏡頭的 X/Y 位移,同時取得 Z 與兩個傾角資訊,協助檢查動作中的非預期偏移

常見需求:5D 鏡頭致動器量測

SENSOR-SHIFT OIS · 感測器防手震

平移之外,也需要看旋轉

感測器位移式 OIS 若包含旋轉補償,量測項目也需要涵蓋旋轉角,才能觀察完整的六項姿態資訊

需要 X/Y/Z+傾角+旋轉:評估 6D

量測能協助分析致動器的運動,實際防手震效果仍需要影像與控制系統測試共同評估。精密組裝與治具對準也可依所需量測軸評估,前提是能配置合適的量測靶標

5D 和 6D 在量什麼?先看這三種動作

5D=X、Y、Z+θX、θY;6D 再增加旋轉 θ。先把動作分成位移、傾斜與旋轉,就比較容易看出量測差異。下面三張圖會直接示範各種動作

三種動作直接示範,不用切換 XYZ;可先看「位置」與「方向」的差別

01|位移

5D/6D 都量

位置改變

靶標依序沿 X、Y、Z 平移。虛線框表示原來的位置,靶標的朝向保持不變。 虛線=原來的位置 量測靶標示意

左右移動|X

X/Y 平移,Z 沿量測方向前後移動

02|傾斜

5D/6D 都量

面朝的方向改變

上圖沿 X 軸看 YZ 剖面,下圖沿 Y 軸看 XZ 剖面。中心圓點表示朝向觀察者的旋轉軸,藍色板代表靶標剖面,弧線表示相對原來姿態的傾角。角度為放大示意,非產品量程。 同一靶標,從兩個方向看傾斜 θX|沿 X 軸看 Y Z X 軸朝向你 ⊙ 15.0° θY|沿 Y 軸看 X Z Y 軸朝向你 ⊙ 15.0° 虛線=原姿態;弧線=傾角(放大示意)

θX:繞 X 軸;θY:繞 Y 軸

上、下圖分別沿 X、Y 軸看,藍色弧線標出傾角

03|旋轉

6D 多量這一項

繞量測軸轉動

正面看靶標,順時針旋轉為正,逆時針旋轉為負。虛線是零度起始方向,深藍線是目前方向,藍色弧線與數字表示兩線之間的角度。示範正負三十度不是產品量程。 正面看|繞 Z 量測軸轉動 順時針(+)/逆時針(−) 原方向 0° θ 中心=Z 軸 ⊙;深藍線=目前方向 θ=+20.0°(示意) 順時針偏轉(放大示意)

θ=原方向與目前方向的夾角

看原方向虛線與目前方向深藍線之間的藍色弧線

本圖以 Z 作量測軸,θX/θY 表示繞 X/Y 軸的傾斜。傾斜示範 ±20°、旋轉示範 ±30°,均為放大教學示意,不是產品量測範圍;本動畫旋轉採順時針為正、逆時針為負;實際量程、座標與正負方向依型號設定確認

從傾角到 6D,依需要的量測項目區分
類型 同時量哪些項目 主要要回答的問題
傾角(2 軸) θX、θY 反射面相對基準有多少傾斜?
三軸 Z+θX、θY 沿量測軸的位移是否伴隨傾斜?
5D X、Y、Z+θX、θY 位置改變時,兩個傾角如何變化?
6D X、Y、Z+θX、θY+旋轉 θ 位置、傾斜與旋轉是否都符合預期?

手機可左右滑動表格

這裡的三軸是 Z 位移+θX、θY;5D/6D 分別代表五/六項位置與角度資訊

一套感測器,如何取得多項位移與角度?

Katsura Opto 將不同光學量測方法整合於同一套感測器,減少配置多個感測器時的安裝空間、相互對準與管理需求

反射面的傾斜,如何變成角度數據?

依原廠光路圖呈現雷射光源、準直透鏡、分光元件、量測反射面、成像透鏡與影像感測器。粉紅光束表示量測光,α 表示反射面的傾角,d 表示光點在感測器上的位移。這是傾角量測原理,不代表整套六維感測器的完整內部構造。
1量測反射面2雷射光源3影像感測器

粉紅光束表示量測光路。雷射光打到量測反射面後,回光經過成像透鏡,在影像感測器上形成光點;反射面傾斜時,光點位置也會跟著改變。圖中以 α 表示單一剖面的傾角,5D/6D 分別量測兩個方向的 θX、θY

光點位移與傾角的關係

d = f × tan(2α);小角度時可近似為 d ≈ 2fα,此時 α 以弧度表示。f 是成像透鏡的焦距,d 是光點相對零位的位移。實際角度數據由經過校正的系統換算

θX/θY|自動準直

反射面傾斜時,回光方向改變;由回光成像的位置取得傾角資訊

Z|三角測量

靶標遠近改變時,光學接收位置跟著變化,用已校正的幾何關係求得位移

X/Y|視覺位置量測

辨識靶標在影像中的位置,換算橫向的位置與位移資訊

旋轉 θ|6D 額外偵測

在五項資訊之外,增加旋轉角偵測光學系統,取得靶標的旋轉資訊

光學量測不需要探針碰到樣品。不過,固定目標鏡或靶標後,仍要留意它的重量與治具會不會影響原本的動作

量樣品前先確認這些事

先提供樣品照片和想量的動作,就能比較快確認需要哪些量測項目。通常會先看下面幾點

樣品長什麼樣?

先看照片、尺寸與量測位置,再確認指定目標鏡或專用靶標能否放得下、固定得住,以及周邊是否會產生額外反光

它會怎麼動?

是左右、上下或前後移動?會不會傾斜或旋轉?提供大約的移動距離、角度和安裝空間,再確認感測器放哪裡

你想看多細的變化?

要量停下來的位置,還是連續觀察運動?說明動作速度,以及希望分辨的位移與角度,再確認量測速度和精度需求

工作距離 WD 是感測器與靶標的配置距離;Z 位移量程 是可量測的前後位移範圍。安裝位置與可量動作,要分別確認

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