超高精度三次元輪廓儀UA3P

Panasonic UA3P

超高精度三次元輪廓量測儀(Ultrahigh Accurate 3D Profilometer)

極致量測 · 產品核心優勢

1

奈米級絕佳精度

不論是複雜的非球面透鏡還是精密模具,UA3P 均能實現高達 0.01 µm 的極致測量準確度,滿足次世代光學組件的嚴苛品管需求。

2

微小探針壓力 · 減少刮傷工件表面

採用原子力接觸式探針技術,測量可達到極其微小的 0.05 mN(*視機型而定)。能在盡可能不損傷敏感光學元件、玻璃鏡片、拋光模具表面的前提下完成精準掃描。

3

大傾角非球面透鏡完美支援

傳統測量儀無法攻克的高角度斜率挑戰,UA3P 可支援高達 75度 的超大傾角鏡片直接量測,無死角描繪完整輪廓。

 

領先業界的量測原理

原子力探針技術 (Atomic Force Probe)

Panasonic UA3P 融合了傳統坐標測量儀 (CMM)原子力顯微鏡 (AFM) 的優勢:

  • 恆定微力追蹤: 測頭在接觸樣品表面時,利用懸臂微小偏轉維持超低恆定壓力。
  • 雷射干涉定位: 搭配 X-Y-Z 三軸超高精度HeNe雷射干涉儀,在觸針移動的瞬間同步捕捉精確的 3D 空間坐標。
  • 逆向誤差修正: 高效率資料回傳軟體,能迅速將量測數據生成 3D 誤差圖,直接反饋給超精密加工機進行補正。
探針量測動態模擬 
 
 
 
 
F
 
 
 
UA3P-AFP
STG X: 0.000
PRB Z: 0.000
FORCE: 0.05mN

廣泛的光學與精密製造應用

智慧型手機鏡頭 多層微型非球面鏡片品管
車載光學系統 HUD 抬頭顯示器與 LiDAR 鏡片
光學半導體 微透鏡陣列與拋光微模具
生醫檢測光學 高靈敏度自由曲面感測元件
CPO光學元件 V 型槽(V-groove)、FAU、稜鏡(Prism)等共同封裝光學元件
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