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雙探針設備Top-surface and Side-surface profilometer ( Twin probe )
UA3P-400T
超高精度三次元輪廓儀UA3P- 特點
- 多領域測量:UA3P 能夠測量非球面透鏡、自由曲面鏡及其模具,這些對於數位消費性電子產品(例如智慧型手機、DSC、DVD、藍光燒錄機)、家庭安全防護系統、光學通訊和車載HUD等提供技術解決方案,精度高達0.01 µm 。
- 快速測量:提供超精確的測量,整個過程僅需3分鐘,使其能夠有效率地應用於各種應用。
- 軟體支援:它配備了廣泛的可選軟體庫,為用戶提供數據分析和處理方面的附加功能和靈活性。
- 使用者友善的操作:此系統的設計易於操作,使用戶能夠向加工過程提供快速回饋,使其適合即時品質控制。
- 雙探針設計:利用上探針及側探針量測的結果,提昇產品加工及組裝的精度要求。
介紹
「無法精準檢測的產品是無法被完美製造出來的」UA3P透過各種細微形狀測量,我們提供多種型號的奈米級測量設備。依靠先進的 Panasonic UA3P 三次元輪廓儀系列提供高精準度的計量服務。當與堅固的花崗岩底座相結合時,此整合系統形成了適合在工廠車間使用的彈性計量解決方案,始終實現低至 0.01 µm的精度水平。
型號 | UA3P-400T | ||
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外觀尺寸(寬x深x高)mm | 1,070×1,230×1,530 | ||
本體重量 | 750公斤 | ||
測量範圍(X、Y、Z軸)mm | 100x100x50 | ||
測量物設置區域(X、Y、Z軸)mm | 200x200x140 | ||
測量探頭 | 原子力探頭AFP/側面探頭S-AFP | ||
解析度 | 0.3nm | ||
上探針測量最大傾斜角度 | 75度 | ||
側面測量角度 | 水平:45~90° /垂直 80~90° | ||
基於上探針的測量精度 *使用時標準R500µm紅寶石上探針 或R500µm陶瓷上探針測定 |
30°以下:±0.05 µm(往返) 45°以下:±0.08 µm(往返) 60°以下:±0.15 µm(往返) 70°以下:±0.15 µm(向下) |
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基於坐標軸測量精度(XY軸測量精度) | 100 mm以下:0.05 µm(再現精度 0.05 µm以內) | ||
測量速度 | 上探針:0.01-10mm/sec,側探針: 0.01-5mm/sec | ||
工作環境溫度 | 20-25°C(變動±1°C以下) | ||
工作環境濕度 | 20-60%(空調風不能直接吹到設備上) | ||
使用環境振動 | 容許值 2.0 cm/s2 (= 2.0 gal), 建議 0.5 cm/s2 | ||
需求電源 | AC100V±5%/14A (需使用不斷電系統UPS及變壓器) | ||
氣壓源 | 0.5 MPa ~ 1.0 MPa,流量 100 L/min (ANR) | ||
標準配件 | 標準陶瓷上探針R500µm、 標準鑽石上探針R2D60、 原子力探頭 AFP、 校正用基準球 |
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