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Katsura Opto 5D/6D 傾斜/變位量測
整合式變位傾角感測器SH-3000系列
Katsura Opto- 特點
- 1. 結合三角測量和自動準直儀測量方法
- 2. 感測器和處理器整合,測量速度更快(1K data/秒)
- 3. 同時測量變位和傾角 [專利號:5330114]
介紹
除了基於自動準直儀的傾角測量之外,是否可以同時測量變位量?此變位和傾斜感測器是根據客戶要求開發的。我們開發了一種易於使用的產品,整合了感測器單元和處理器單元,而且重量輕、結構精緻,可以輕鬆整合到設備中。
型號 | SH-3100 | SH-3200 | ||
---|---|---|---|---|
測定物件 | 光學平面(建議反射率80%以上) | |||
工作距離 | 50±0.5 mm | |||
測定項目 | 傾斜(θX,θY) | 變位(Z) | 傾斜(θX,θY) | 變位(Z) |
測量範圍 | ±60分 (圓形範圍) | ±1.5mm | ±90分 (圓形範圍) | ±5mm |
重複測定精度(角度) | 0.009分 | 0.15μm | 0.009分 | 0.5μm |
線性度 | ±0.2% of F.S. (相當±0.24分) |
±0.075% of F.S. (相當±2.25μm) |
±0.2% of F.S. (相當±0.36分) |
±0.1% of F.S. (相當±10μm) |
光源1 波長/光束直徑 |
660±10nm / φ0.2mm以下 | |||
輸出更新率 | 1,000次/秒 | |||
外觀尺寸(不包括突出部分) | W100 x D80 x H35 mm |