Katsura Opto 5D/6D 傾斜/變位量測

整合式變位傾角感測器SH-3000系列

Katsura Opto
特點
1. 結合三角測量和自動準直儀測量方法
2. 感測器和處理器整合,測量速度更快(1K data/秒)
3. 同時測量變位和傾角 [專利號:5330114]

介紹

除了基於自動準直儀的傾角測量之外,是否可以同時測量變位量?此變位和傾斜感測器是根據客戶要求開發的。
我們開發了一種易於使用的產品,整合了感測器單元和處理器單元,而且重量輕、結構精緻,可以輕鬆整合到設備中。
 
 
型號 SH-3100 SH-3200
測定物件 光學平面(建議反射率80%以上)
工作距離 50±0.5 mm
測定項目 傾斜(θX,θY) 變位(Z) 傾斜(θX,θY) 變位(Z)
測量範圍 ±60分  (圓形範圍) ±1.5mm ±90分  (圓形範圍) ±5mm
重複測定精度(角度) 0.009分 0.15μm 0.009分 0.5μm
線性度 ±0.2% of F.S.
(相當±0.24分)
±0.075% of F.S.
(相當±2.25μm)
±0.2% of F.S.
(相當±0.36分)
±0.1% of F.S.
(相當±10μm)
光源1
波長/光束直徑
660±10nm / φ0.2mm以下
輸出更新率 1,000次/秒
外觀尺寸(不包括突出部分) W100 x D80 x H35 mm
TOP