FR-Scanner AIO 自動膜厚測繪系統

介紹

FR-Scanner AllInOne：用於自動表徵晶圓、掩模版或其他基板上的薄膜和塗層。
FR-Scanner 是快速、準確、無損地繪製薄膜特性（包括厚度、折射率、均勻性、顏色等）的理想工具。真空吸盤可容納任何直徑（最大 300 mm）和形狀的晶圓。
FR-Scanner-AIO-RΘ150 在極座標系下運行，在半徑和角度測量方面均具有無與倫比的速度和精度。
它能夠記錄精確的反射數據，重複性極高，使其成為在加工設備中對晶圓/其他基板上的薄膜進行線上和線上表徵的理想工具。
它提供多種配置，可用於表徵薄至幾nm、厚至數百µm的薄膜，並配有專用的日常使用軟體。
FR-Scanner 在準確性、精密度、可重複性和長期穩定性方面表現出色。
FR-Scanner-AIO-RΘ150 平台提供非常廣泛的實施範圍，涵蓋寬光譜範圍（200-1700nm）和厚度範圍。