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ThetaMetrisis 膜厚量測/鍍膜量測
FR-ES 光學非接觸式薄膜厚度量測儀
ThetaMetrisis- 特點
- ⼤學和研究實驗室
- 聚合物和抗蝕劑表徵
- 化學測量
- 介電特性
- ⽣物醫學
- 光學鍍膜
- 非⾦屬薄膜
- 動態測量
- 點選分析(無需初步猜測)
- n & k、顏⾊測量
- 多個裝置用於離線分析
介紹
FR‑ES是⼀款⼩巧輕便的裝置,用於對寬厚度範圍內的透明和半透明塗層以及薄⾦屬層進行無損表面特性量測。使用 FR‑ES,使用者可以在各種光譜範圍內進行反射率和透射率測量。 它適用於各種測量應用:薄膜厚度、折射率、顏⾊、透射率、反射率等等。
FR‑ES 提供五種配置:
UV/VIS (200-850nm),
UV/NIR-EXT (200-1000nm),
UV/NIR-HR (190-1100nm)
NIR-N1 (850-1050nm),
NIR (900-1700nm)
然後,還有各種各樣的配件,
例如:
▪用於阻擋特定光譜範圍內光線的濾光片
▪用於在非常小的區域進行測量的FR-Mic
▪手動載物台, 25x25mm、100x100mm 或 200x200mm
▪用於吸光度/反射率和化學濃度測量的光盤 /色皿
| 型號 | VIS/NIR | NIR | NIR-N1 | D VIS/NIR | UV/VIS | UV/NIR-EXT | UV/NIR-HR | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 波長範圍(nm) | 380 –1020 | 900 – 1700 | 850-1050 | 380-1700 | 200-850 | 200-1000 | 190-1100 | |||||
| 像素 | 3648 | 512 | 3648 | 3748 & 512 | 3648 | 3648 | 2048 | |||||
| 最小厚度(SiO2) | 12nm | 50nm | 1μm | 12nm | 1nm | 1nm | 1nm | |||||
| 最大厚度(SiO2) | 120μm | 250μm | 500μm | 250μm | 80μm | 90μm | 100μm | |||||
| n&k -最小厚度 | 100nm | 500nm | 100nm | 50nm | 50nm | 50nm | ||||||
| 厚度-準確度** | 2nm / 0.2% | 3nm / 0.4% | 50nm / 0.2% | 2nm / 0.2% | 1nm / 0.2% | 1nm / 0.2% | 1nm / 0.2% | |||||
| 厚度-精度** | 0.05nm | 0.1nm | 0.1nm | 0.05nm | 0.05nm | |||||||
| 厚度-穩定度** | 0.05nm | 0.15nm | 0.15nm | 0.05nm | 0.05nm | |||||||
| API 支援 | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 | 是 | |||||
| 光源 | 鹵素(內建),3000 小時 (MTBF) | VIS/NIR 操作,鹵素(內建),3000 小時 (MTBF) UV/NIR 操作:LS‑2,氘‑鹵素,2000 ⼩時(MTBF) |
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| 積分時間 | 5msec (min) | 0.5msec (min) | 5msec (min) | 5msec (min) | 5msec (min) | 1msec (min) | ||||||
| 尺寸重量 | FR-ES: 20 x 22 x 6 cm ( L x W x H ), 1.8Kg ( 不含stage ), FR-ES D: 20 x 27 x 12 cm ( L x W x H ), 3.3Kg ( 不含stage ) | |||||||||||
| 電源 | 110V/230V, 50-60Hz, 20-50W (LS-2, 不含外部光源) | |||||||||||
| 光斑尺寸 | 直徑約 350-400 μm(可根據要求提供較小的光斑尺寸選項) | |||||||||||
| 材料資料庫 | > 800 種不同材料 | |||||||||||
| 軟體特性 | FR‑Monitor v4.0(免費更新)完整軟體詳細資料列於相關⽬錄頁⾯ | |||||||||||